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ASML이라는 이름은 많이들 들어 봤을 듯..
그 회사에서 만든 극자외선 노광기 장비인데 한 대에 5천억원. 무게 200톤의 장비임.
말 그대로 매우 파장이 짧은 자외선을 만들어서 그걸로 웨이퍼에 패턴을 새기는 기계인데 이 자외선을 만드는 방식이 사기임.
고진공을 유지하는 기계 내부에서 초당 5000방울의 액체 주석을 아래로 떨어트리고 떨어지는 주석방울 각각을 CO2레이저로 두 번(!) 맞춰서 주석 증기가 여기되었다 에너지 준위가 낮아지는 과정에서 발생하는 자외선을 거울로 이리저리 반사시켜서 웨이퍼에 조사하는 방식임.
말이 쉽지 1초에 5000방울씩 떨어지는 주석 방울에 각각 두 번씩 레이저를 명중시키고 또 그에 맞춰서 표적이 되는 웨이퍼를 이리저리 옮겨 맞추는 기술이 어떻게 가능할 까...
당근 인원과 예산을 투입해서 유지관리를 매우 빡세게 해야 한다는 뜻.
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